IntelliSuite軟體是一專為微機電系統所開發的軟體，提供下列五大功能：
一、製程模擬：包括製程模擬器、製程檢驗、材料庫、製程庫、設計樣本庫、非等向蝕刻模擬、製程除錯。
二、模型建立與光罩編輯工具：模型建立、製程步驟結果顯示、光罩佈局建立、標準光罩檔案輸出與輸入(DXF, GDSII)、自動網格產生、幾何編輯、3D幾何模型直接建立、與PATRAN、ANSYS的有限元素模型雙向介面。
三、分析模組：靜電邊界元素分析、熱固耦合有限元素分析、電熱固耦合分析。
四、材料分析：材料庫、材料性質預測、實驗數據Fitting、使用者數據整合。
五、非等向蝕刻模擬：上下光罩任意定義、蝕刻率資料庫、角落補償、使用者數據整合。

 

在本課程為基礎課程，透過解說與實際操作，使參加者能瞭解其架構與重要之功能操作，大綱如下：
1.整體功能概觀
2.製程建構、製程幾何自動產生與檢視
3.熱、電、結構分析及自動網格產生
4.材料庫功能與查詢
5.非等向蝕刻模擬(體型微加工製程模擬)
6.光罩繪製概念與功能簡介
7.三維互動式網格建立模組簡介